लेजर ग्याँस

इलेक्ट्रोनिक्स उद्योगमा लेजर ग्यास मुख्यतया लेजर एनिलिङ र लिथोग्राफी ग्यासको लागि प्रयोग गरिन्छ। मोबाइल फोन स्क्रिनको नवीनता र अनुप्रयोग क्षेत्रहरूको विस्तारबाट लाभ उठाउँदै, कम-तापमान पोलिसिलिकन बजारको स्केल थप विस्तार गरिनेछ, र लेजर एनिलिङ प्रक्रियाले TFT हरूको कार्यसम्पादनमा उल्लेखनीय सुधार गरेको छ। अर्धचालकहरू निर्माण गर्न ArF एक्साइमर लेजरमा प्रयोग हुने नियोन, फ्लोरिन र आर्गन ग्यासहरू मध्ये, लेजर ग्यास मिश्रणको 96% भन्दा बढी नियोनले ओगटेको छ। अर्धचालक प्रविधिको परिष्करणसँगै, एक्साइमर लेजरहरूको प्रयोग बढेको छ, र डबल एक्सपोजर प्रविधिको परिचयले ArF एक्साइमर लेजरहरूले खपत गर्ने नियोन ग्यासको मागमा तीव्र वृद्धि भएको छ। इलेक्ट्रोनिक विशेष ग्यासहरूको स्थानीयकरणको प्रवर्द्धनबाट लाभ उठाउँदै, घरेलु उत्पादकहरूले भविष्यमा राम्रो बजार वृद्धि ठाउँ पाउनेछन्।

लिथोग्राफी मेसिन अर्धचालक निर्माणको मुख्य उपकरण हो। लिथोग्राफीले ट्रान्जिस्टरको आकार परिभाषित गर्दछ। लिथोग्राफी उद्योग शृङ्खलाको समन्वित विकास लिथोग्राफी मेसिनको सफलताको कुञ्जी हो। फोटोरेसिस्ट, फोटोलिथोग्राफी ग्यास, फोटोमास्क, र कोटिंग र विकास गर्ने उपकरणहरू जस्ता मिल्दो अर्धचालक सामग्रीहरूमा उच्च प्राविधिक सामग्री हुन्छ। लिथोग्राफी ग्यास भनेको लिथोग्राफी मेसिनले गहिरो पराबैंगनी लेजर उत्पन्न गर्ने ग्यास हो। विभिन्न लिथोग्राफी ग्यासहरूले विभिन्न तरंगदैर्ध्यका प्रकाश स्रोतहरू उत्पादन गर्न सक्छन्, र तिनीहरूको तरंगदैर्ध्यले लिथोग्राफी मेसिनको रिजोल्युसनलाई प्रत्यक्ष असर गर्छ, जुन लिथोग्राफी मेसिनको कोरहरू मध्ये एक हो। २०२० मा, लिथोग्राफी मेसिनहरूको कुल विश्वव्यापी बिक्री ४१३ एकाइ हुनेछ, जसमध्ये ASML बिक्री २५८ एकाइहरू ६२%, क्यानन बिक्री १२२ एकाइहरू ३०%, र निकोन बिक्री ३३ एकाइहरू ८% का लागि जिम्मेवार छन्।