हाइड्रोजन क्लोराइडयो रंगहीन ग्यास हो जसमा तिखो गन्ध आउँछ। यसको जलीय घोललाई हाइड्रोक्लोरिक एसिड भनिन्छ, जसलाई हाइड्रोक्लोरिक एसिड पनि भनिन्छ। हाइड्रोजन क्लोराइड पानीमा धेरै घुलनशील हुन्छ। ०°C मा, १ भोल्युम पानीले लगभग ५०० भोल्युम हाइड्रोजन क्लोराइडलाई घुलाउन सक्छ।

यसमा निम्न गुणहरू र विशेषताहरू छन्:

१. उच्च शुद्धता

इलेक्ट्रोनिक ग्रेडको शुद्धताहाइड्रोजन क्लोराइडअर्धचालक उत्पादन प्रक्रियामा कुनै पनि अशुद्धता नआओस् भनेर सुनिश्चित गर्न, यो धेरै उच्च हुन्छ, सामान्यतया पीपीएम वा तल्लो स्तरमा।

२. जडत्व

यो एक रासायनिक रूपमा निष्क्रिय ग्यास हो जसले धेरै अन्य पदार्थहरूसँग प्रतिक्रिया गर्दैन, जुन अर्धचालक सामग्री र उपकरणहरूको प्रदूषण रोक्नको लागि धेरै महत्त्वपूर्ण छ।

३. उच्च स्थिरता

इलेक्ट्रोनिक ग्रेडहाइड्रोजन क्लोराइडभरपर्दो अर्धचालक प्रशोधन सुनिश्चित गर्न सामान्यतया स्थिर रसायन विज्ञान हुन्छ।

अर्धचालक प्रशोधनमा, इलेक्ट्रोनिक ग्रेड हाइड्रोजन क्लोराइडको मुख्य अनुप्रयोगहरू समावेश छन्:

१. सतह सफाई र तयारी

एक कुशल सतह सफा गर्ने व्यक्तिको रूपमा, इलेक्ट्रोनिक ग्रेडहाइड्रोजन क्लोराइडएपिटेक्सियल तह वा फिल्मको गुणस्तर र शुद्धता सुनिश्चित गर्न सब्सट्रेट सतहबाट अक्साइड र अशुद्धता हटाउन प्रयोग गरिन्छ।

२. एपिटेक्सियल वृद्धि सहायता

एपिटेक्सियल प्रक्रियामा सतह उपचार एजेन्टको रूपमा प्रयोग गरिन्छ, यसले एपिटेक्सियल तहको गुणस्तर सुधार गर्न, जाली मिलान सुधार गर्न र जाली दोषहरूको गठन कम गर्न मद्दत गर्दछ।

३. सब्सट्रेट पूर्व उपचार

अर्धचालक उपकरणहरूको तयारी गर्नु अघि, इलेक्ट्रोनिक ग्रेडहाइड्रोजन क्लोराइडएपिटेक्सियल तह र सब्सट्रेट बीचको आसंजन सुधार गर्न स्थिर आधार बनाउन सब्सट्रेट सतहको उपचार गर्न प्रयोग गर्न सकिन्छ।

४. सहायक एजेन्ट जम्मा गर्ने

रासायनिक वाष्प निक्षेपण (CVD) वा भौतिक वाष्प निक्षेपण (PVD) को प्रक्रियामा, इलेक्ट्रोनिक ग्रेड हाइड्रोजन क्लोराइडलाई अर्धचालक सामग्रीहरूको निक्षेपण प्रतिक्रियामा भाग लिन ग्यास चरण स्थानान्तरण माध्यमको रूपमा प्रयोग गर्न सकिन्छ।

५. ग्यास-फेज ट्रान्सफर एजेन्ट

ग्यास-फेज ट्रान्सफर एजेन्टको रूपमा, अन्य ग्यासीय पूर्ववर्तीहरू प्रतिक्रिया कक्षमा परिचय गराइन्छ जसले गर्दा सामग्रीको निक्षेपण दर र एकरूपता समायोजन गर्न मद्दत मिल्छ।

यी विशेषताहरूले इलेक्ट्रोनिक ग्रेड बनाउँछन्हाइड्रोजन क्लोराइडअर्धचालक प्रविधिमा एक महत्त्वपूर्ण प्रशोधन एजेन्ट, जसले अन्तिम उपकरणको कार्यसम्पादन र विश्वसनीयतामा प्रमुख प्रभाव पार्छ।

अर्धचालक प्रशोधनमा यसको प्रयोगको अतिरिक्त, इलेक्ट्रोनिक ग्रेड हाइड्रोजन क्लोराइडले अन्य क्षेत्रहरूमा विभिन्न प्रयोगहरू पाउन सक्छ, जसमा समावेश छन्: उच्च शुद्धता सामग्रीको तयारी, इन्धन कोषहरू, अर्धचालक सामग्री वृद्धि, वाष्प चरण लिथोग्राफी, सामग्री विश्लेषण, रासायनिक अनुसन्धान।

सामान्यतया, इलेक्ट्रोनिक ग्रेडहाइड्रोजन क्लोराइडयो एक बहुमुखी, उच्च शुद्धता ग्यास हो जसको अर्धचालक उत्पादन बाहिरका धेरै अनुप्रयोगहरू छन्।