अर्ध मगरलको उत्पादन प्रक्रियामा अपेक्षाकृत उन्नत उत्पादन प्रक्रियाहरूको साथ परिश्रम गर्दछ, झन्डै 500 विभिन्न प्रकारका ग्याँटहरू आवश्यक पर्दछ। ग्याँसहरू सामान्यतया बुच ग्याँसहरूमा विभाजित हुन्छन् रविशेष ग्याँसहरू.

माइक्रोएक्स्ट्रोक्रोनसिक्स र अर्धवांडरकरकर्ता उद्योगमा ग्यासहरूको प्रयोगले ग्यासहरू जहिले जहिले पनि विभिन्न उद्योगहरूमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरेको छ, विशेष गरी विभिन्न भूमिकालाई व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ। हालको माइक्रो-इलेक्ट्रोमामम्मरकमय (METS INT उद्योगमा ortly बाट tft-lcd बाट, सुख्खा ecching, ऑनडिट इंडेशन, ए.यो इंडेशन, आदि सहित।

उदाहरण को लागी, धेरै मानिसहरूलाई थाहा छ कि चिप्स बालुवाले बनेको छ, तर चिप निर्माणको सम्पूर्ण प्रक्रियामा हेर्दै, त्यस्ता सामग्रीहरू आवश्यक छ, जस्तै फोटोरोस्स्ट, लक्षित सामग्री, आदि अपरिहार्य छन्। ब्याक-अन्त प्याकेजि a लाई पनि सब्सट्रेट, इन्स्टरहरू, सीसाको फ्रेमहरू, बन्धन सामग्रीहरू, आदिहरू, विभिन्न सामग्रीहरू प्रदान गर्न आवश्यक छ। इलेक्ट्रोनिक विशेष ग्याँस सिलिकन वेफर पछि सेमीन्डुकोक्टर निर्माणको लागत हो, यसले मास्क र फोटोरोस्टस्टहरू अनुसरण गर्यो।

ग्यास शुद्धता कम्पोनेन्ट प्रदर्शन र उत्पाद उपजमा निर्णायक प्रभाव छ, र ग्यास आपूर्तिको सुरक्षा कर्मीहरूको स्वास्थ्य र फ्याक्ट्री अपरेशनको सुरक्षासँग सम्बन्धित छ। प्रक्रियाको लाइन र कर्मचारीहरुलाई यति ठूलो प्रभाव किन छ? यो बढाइख्रो होइन, तर ग्यासको खतरनाक विशेषताहरु द्वारा निर्धारण गरिएको छ।

अर्धवान्डुनिक उद्योगमा साझा ग्यासहरूको वर्गीकरण

साधारण ग्यास

साधारण ग्यास पनि बल्क ग्यास पनि भनिन्छ: यसले औद्योगिक ग्यासलाई 5n भन्दा कम शुद्धता आवश्यकतासँग कम गर्दछ र ठूलो उत्पादन र बिक्री भोल्युम। यसलाई वायु विभाजित ग्यास र सिन्डेटिक ग्यासमा विभिन्न तयारी विधिहरू अनुसार विभाजन गर्न सकिन्छ। हाइड्रोजन (H2), नाइट्रोजन (N2), अक्सिजन (O2), अर्गोन (A2), आदि;

विशेषता ग्यास

विशेषता ग्यासले औद्योगिक ग्याँसलाई जनाउँछ जुन विशिष्ट क्षेत्रहरूमा प्रयोग हुन्छ र शुद्धता, विविधता, र सम्पत्तीहरूको विशेष आवश्यकताहरू हुन्छन्। मुख्य गरीShih4, PH3, B2H6, A83,एड़ल्ली, CF4,NH3, Pucll3, Sh "Sh" sih2cl3,NH3, Bl b, SIF4, CLF3, CO, C2F6, n2o, F2, HF, HF, HF, HB,एसएफ the... र त्यसैले मा।

रिभर्स ग्यासहरूको प्रकारहरू

विशेष ग्यासहरूको प्रकारहरू: क्षतिविहीन, विषाक्त, ज्वलनशील, दहन-समर्थित, जूवा, आदि।
सामान्यतया प्रयोग गरिएको सेमीन्डुन्डरकक्टर ग्यासहरू निम्न रूपमा वर्गीकृत छन्:
(i) क्षतिग्रस्त / विषाक्त:एड़ल्ली, Bf3, wf6, HBR, SIH2 SHV2, PH3, CL3, CL3, CH3, clh3,Bl b...
(ii) ज्वलनशील: H2,कप,Shih4, PH3, ASH3, SIH3, SIS3, B2H6, Ch2f2, Ch3ef, CO ...
(iii) दहनशील: O2, SL2, N2o, NF3 ...
(IV) ACTRT: N2,Cf4, C2F6,C4F8,एसएफ the, CO2,Ne,Kr, ऊ ...

सेमीन्डुनिकल चिप निर्माणको प्रक्रियामा, करीव 500 विभिन्न प्रकारका विशेष ग्यासहरू (विशेष ग्यासहरू) अक्सीकरण, प्रसार, ईन्जेसन, पृथक गर्ने वस्तुहरू सयौं वर्षा हुन्छन्। उदाहरणका लागि, PH3 र ASH3 आयन इन्सपेन्ट प्रक्रियामा, एस-आधारित ग्यास CF4, SCH4, NCH4, NCH4, ND3, NCH3, NCH3, ND3, NCH3, NCH3, NCH3, NCH3, NV3, BR6, N2 / NESESTESSEST CH3, BRB3, BRB3, PROLISHEST को लागी प्रक्रिया।

माथिका पक्षहरूबाट, हामी बुझ्न सक्दछौं कि धेरै सेमिन्डुन्डरकक्टर ग्यास मानव शरीरको लागि हानिकारकहरू छन्। विशेष गरी, केहि ग्याँसहरू, जस्तै SIH4, आत्म-प्रज्वलित छन्। जबसम्म उनीहरू चुहानमा, तिनीहरूले हावामा अक्सिजनका साथ हिंस्रग रूपमा प्रतिक्रिया दिनेछन् र जलाउन सुरु गर्छन्; र Ash3 अत्यधिक विषाक्त छ। कुनै पनि हल्का चुहावटले व्यक्तिहरूको जीवनलाई हानि पुर्याउन सक्छ, त्यसैले विशेष ग्यासहरूको प्रयोगको लागि नियन्त्रण प्रणाली डिजाइनको सुरक्षाको लागि आवश्यकताहरू विशेष गरी उच्च छ।

अर्धवान्डक्टरहरूले "तीन डिग्री" हुन उच्च-शुद्धता ग्यासहरू आवश्यक पर्दछ

ग्यासको शुद्धता

ग्यासमा अशुद्धता को सामग्री सामान्यतया ग्यास शुद्धता को एक प्रतिशत को रूप मा व्यक्त गरिन्छ, जस्तै 99 99 ..9999%। सामान्यतया बोल्दै, इलेक्ट्रॉनिक विशेष ग्यासहरूको लागि शुद्धता आवश्यकता 5n 6n 6n मा पुग्छ, र पृथक बनाउने मात्रा (प्रति ट्रिलियन)। इलेक्ट्रोनिक सेमिेटन्डुन्डरकय क्षेत्रको विशेषता र गुणस्तरहरूको गुणस्तर स्थायित्वको लागि उच्च आवश्यकताहरू छन्, र इलेक्ट्रॉनिक विशेष ग्याँसको शुद्धता सामान्यतया 6n भन्दा ठूलो हुन्छ।

सूक्खापना

ग्यास वा भिजेको सामग्रीको सामग्री, बेगी पोइन्टमा सामान्यतया व्यक्त गरिन्छ, जस्तै वायुमण्डलीय शीत पोइन्ट -20 ℃।

स्वच्छता

ग्यासमा प्रदूषितन्ट कणहरूको संख्या μm को कण आकारको साथ कणको आकारको साथ, कति कणहरू / m3 मा कति बताइएको छ। संकुचित हावाका लागि, यो सामान्यतया अपरिहार्य ठोस अवशेषहरूको MG / M3 मा व्यक्त गरिन्छ, जसमा तेल सामग्री समावेश गर्दछ।