हाम्रो देशको अर्धचालक उद्योग र प्यानल उद्योगले उच्च स्तरको समृद्धि कायम राखेको छ। प्यानल र अर्धचालकहरूको उत्पादन र प्रशोधनमा अपरिहार्य र सबैभन्दा ठूलो मात्राको विशेष इलेक्ट्रोनिक ग्यासको रूपमा नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइडको बजार क्षेत्र फराकिलो छ।
सामान्यतया प्रयोग हुने फ्लोरिन युक्त विशेष इलेक्ट्रोनिक ग्याँसहरूमा समावेश छन्सल्फर हेक्साफ्लोराइड (SF6)टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड (WF6),कार्बन टेट्राफ्लोराइड (CF4), ट्राइफ्लोरोमेथेन (CHF3), नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3), हेक्साफ्लोरोइथेन (C2F6) र अक्टाफ्लोरोप्रोपेन (C3F8)। नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3) मुख्यतया हाइड्रोजन फ्लोराइड-फ्लोराइड ग्यास उच्च-ऊर्जा रासायनिक लेजरहरूको लागि फ्लोरिन स्रोतको रूपमा प्रयोग गरिन्छ। H2-O2 र F2 बीचको प्रतिक्रिया ऊर्जाको प्रभावकारी भाग (लगभग 25%) लेजर विकिरणद्वारा जारी गर्न सकिन्छ, त्यसैले HF-OF लेजरहरू रासायनिक लेजरहरूमध्ये सबैभन्दा आशाजनक लेजरहरू हुन्।
नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड माइक्रोइलेक्ट्रोनिक्स उद्योगमा एक उत्कृष्ट प्लाज्मा एचिंग ग्यास हो। सिलिकन र सिलिकन नाइट्राइड एचिंगको लागि, नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइडमा कार्बन टेट्राफ्लोराइड र कार्बन टेट्राफ्लोराइड र अक्सिजनको मिश्रण भन्दा उच्च एचिंग दर र चयनशीलता हुन्छ, र सतहमा कुनै प्रदूषण हुँदैन। विशेष गरी १.५um भन्दा कम मोटाई भएका एकीकृत सर्किट सामग्रीहरूको एचिंगमा, नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइडमा धेरै उत्कृष्ट एचिंग दर र चयनशीलता हुन्छ, जसले एचिंग गरिएको वस्तुको सतहमा कुनै अवशेष छोड्दैन, र यो एक धेरै राम्रो सफाई एजेन्ट पनि हो। न्यानो टेक्नोलोजीको विकास र इलेक्ट्रोनिक्स उद्योगको ठूलो स्तरको विकाससँगै, यसको माग दिन प्रतिदिन बढ्दै जानेछ।
फ्लोरिन युक्त विशेष ग्यासको एक प्रकारको रूपमा, नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3) बजारमा सबैभन्दा ठूलो इलेक्ट्रोनिक विशेष ग्यास उत्पादन हो। यो कोठाको तापक्रममा रासायनिक रूपमा निष्क्रिय, अक्सिजन भन्दा बढी सक्रिय, फ्लोरिन भन्दा बढी स्थिर, र उच्च तापक्रममा ह्यान्डल गर्न सजिलो हुन्छ।
नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड मुख्यतया प्लाज्मा एचिंग ग्यास र प्रतिक्रिया कक्ष सफाई एजेन्टको रूपमा प्रयोग गरिन्छ, जुन अर्धचालक चिप्स, फ्ल्याट प्यानल डिस्प्ले, अप्टिकल फाइबर, फोटोभोल्टिक सेलहरू, आदि जस्ता उत्पादन क्षेत्रहरूको लागि उपयुक्त छ।
अन्य फ्लोरिन युक्त इलेक्ट्रोनिक ग्यासहरूको तुलनामा, नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइडमा द्रुत प्रतिक्रिया र उच्च दक्षताका फाइदाहरू छन्, विशेष गरी सिलिकन नाइट्राइड जस्ता सिलिकन युक्त सामग्रीहरूको नक्काशीमा, यसको उच्च नक्काशी दर र चयनशीलता छ, नक्काशी गरिएको वस्तुको सतहमा कुनै अवशेष छोड्दैन, र यो एक धेरै राम्रो सफाई एजेन्ट पनि हो, र यो सतहमा प्रदूषण नगर्ने र प्रशोधन प्रक्रियाको आवश्यकताहरू पूरा गर्न सक्छ।
पोस्ट समय: डिसेम्बर-२६-२०२४
