सामान्य फ्लोरिन युक्त विशेष इलेक्ट्रोनिक ग्याँसहरू समावेश छन्सल्फर हेक्साफ्लोराइड (SF6)टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड (WF6),कार्बन टेट्राफ्लोराइड (CF4), ट्राइफ्लोरोमेथेन (CHF3), नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3), हेक्साफ्लोरोइथेन (C2F6) र अक्टाफ्लोरोप्रोपेन (C3F8)।
न्यानो टेक्नोलोजीको विकास र इलेक्ट्रोनिक्स उद्योगको ठूलो स्तरको विकाससँगै, यसको माग दिन प्रतिदिन बढ्दै जानेछ। प्यानल र अर्धचालकहरूको उत्पादन र प्रशोधनमा अपरिहार्य र सबैभन्दा ठूलो प्रयोग हुने विशेष इलेक्ट्रोनिक ग्यासको रूपमा नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइडको बजार क्षेत्र फराकिलो छ।
फ्लोरिन युक्त विशेष ग्यासको प्रकारको रूपमा,नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3)यो सबैभन्दा ठूलो बजार क्षमता भएको इलेक्ट्रोनिक विशेष ग्यास उत्पादन हो। यो कोठाको तापक्रममा रासायनिक रूपमा निष्क्रिय हुन्छ, उच्च तापक्रममा अक्सिजन भन्दा बढी सक्रिय हुन्छ, फ्लोरिन भन्दा बढी स्थिर हुन्छ, र ह्यान्डल गर्न सजिलो हुन्छ। नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड मुख्यतया प्लाज्मा एचिंग ग्यास र प्रतिक्रिया कक्ष सफाई एजेन्टको रूपमा प्रयोग गरिन्छ, र अर्धचालक चिप्स, फ्ल्याट प्यानल डिस्प्ले, अप्टिकल फाइबर, फोटोभोल्टिक सेलहरू, आदिको निर्माण क्षेत्रहरूको लागि उपयुक्त छ।
अन्य फ्लोरिन युक्त इलेक्ट्रोनिक ग्याँसहरूको तुलनामा,नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइडद्रुत प्रतिक्रिया र उच्च दक्षताका फाइदाहरू छन्। विशेष गरी सिलिकन नाइट्राइड जस्ता सिलिकन युक्त सामग्रीहरूको नक्काशीमा, यसको उच्च नक्काशी दर र चयनशीलता हुन्छ, जसले नक्काशी गरिएको वस्तुको सतहमा कुनै अवशेष छोड्दैन। यो एक धेरै राम्रो सफाई एजेन्ट पनि हो र सतहमा कुनै प्रदूषण हुँदैन, जसले प्रशोधन प्रक्रियाको आवश्यकताहरू पूरा गर्न सक्छ।
पोस्ट समय: सेप्टेम्बर-१४-२०२४
