सबैभन्दा प्रयोग गरिएको इलेक्ट्रॉनिक विशेष ग्यास - नाइट्रोजन ट्रिफेट्रोइड

साझा फ्लोरिन-समावेश विशेष इलेक्ट्रोनिक ग्यास समावेशसल्फर हेक्साफलर (SF6), tungsten हेक्स्ट्टलिएड (WF6),कार्बन टेट्राफलिएट (CF4), ट्रिफ्यूरोमोटथा (Chf3), Nitrogen ट्रिफेरोइड (NF3), हेस्फ्लाउरोथेन (C2F6) र अक्टूब्टोरोप्रापोफ्रप्टर (C3F8)।

NanoteChanticocol को विकास र इलेक्ट्रोक्स उद्योग को ठूलो पैमाने विकासको विकास संग, यसको माग दिन मा वृद्धि हुनेछ। नाइट्रोजन ट्रिफ्युरोइड, प्यानल र सेमी शोकको उत्पादन र प्रशोधनको रूपमा अपरिहार्य र ठूलो प्रयोग गरिएको विशेष इलेक्ट्रोनिक ग्यासको रूपमा, व्यापक बजार अन्तरिक्ष छ।

फ्लोरिन-फ्रुयररिन-विशेष ग्यास सहित,नाइट्रोजन ट्रिफेरोइड (NF3)सबैभन्दा ठूलो बजार क्षमताको साथ इलेक्ट्रोनिक विशेष ग्यास उत्पाद हो। यो कोठाको तापमानमा रॉर्मको तापमानमा जमिन छ, उच्च तापमान भन्दा बढी सक्रिय छ, फ्लोरिनन भन्दा बढी स्थिर, र ह्यान्डल गर्न सजिलो छ। नाइट्रोजन ट्रिफ्लारोड मुख्यतया प्लाज्माको रूपमा प्रयोग गरिन्छ र एक parsma चेम्बर सफा एजेन्ट, र अर्ध मंडल चिप्स, फोटोभाइलटिक सेल, EPCOLTAITAITS को उत्पादन क्षेत्रहरु को लागी उपयुक्त छ।

अन्य फ्लोरिनन-इन इलेक्ट्रोनिक ग्याँसहरू सहितको तुलनामा,नाइट्रोजन ट्रिफेटेडछिटो प्रतिक्रिया र उच्च दक्षता को फाइदा छ। विशेष गरी सिलिकून-सिलिसिंग सामग्रीहरू समावेश गर्ने सामग्रीहरू सहित, यसको उच्च ईचिंग दर र छाप्नको लागि कुनै पनि प्रथा छ र एटीपी वस्तुको सतहमा कुनै शव्द छोड्दैन। यो पनि धेरै राम्रो सफाई एजेन्ट हो र सतहमा कुनै प्रदूषण छैन, जुन प्रशोधनको प्रक्रियाको आवश्यकताहरू पूरा गर्न सक्दछ।