सबैभन्दा धेरै प्रयोग हुने इलेक्ट्रोनिक विशेष ग्यास - नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड

सामान्य फ्लोरिन युक्त विशेष इलेक्ट्रोनिक ग्यासहरू समावेश छन्सल्फर हेक्साफ्लोराइड (SF6)टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड (WF6),कार्बन टेट्राफ्लोराइड (CF4), trifluoromethane (CHF3), नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3), hexafluoroethane (C2F6) र octafluoropropane (C3F8)।

नानो टेक्नोलोजीको विकास र इलेक्ट्रोनिक्स उद्योगको ठूलो मात्रामा विकाससँगै यसको माग दिनप्रतिदिन बढ्दै जानेछ। नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड, प्यानल र अर्धचालकहरूको उत्पादन र प्रशोधनमा अपरिहार्य र सबैभन्दा ठूलो प्रयोग हुने विशेष इलेक्ट्रोनिक ग्यासको रूपमा, फराकिलो बजार ठाउँ छ।

फ्लोरिन युक्त विशेष ग्यास को एक प्रकार को रूप मा,नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3)सबैभन्दा ठूलो बजार क्षमता भएको इलेक्ट्रोनिक विशेष ग्यास उत्पादन हो। यो कोठाको तापक्रममा रासायनिक रूपमा निष्क्रिय हुन्छ, उच्च तापक्रममा अक्सिजनभन्दा बढी सक्रिय हुन्छ, फ्लोरिनभन्दा बढी स्थिर हुन्छ, र ह्यान्डल गर्न सजिलो हुन्छ। नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड मुख्यतया प्लाज्मा एचिङ ग्यास र प्रतिक्रिया कक्ष सफाई एजेन्टको रूपमा प्रयोग गरिन्छ, र सेमीकन्डक्टर चिप्स, फ्ल्याट प्यानल डिस्प्ले, अप्टिकल फाइबर, फोटोभोल्टिक सेलहरू, इत्यादिको निर्माण क्षेत्रहरूको लागि उपयुक्त छ।

अन्य फ्लोरिन युक्त इलेक्ट्रोनिक ग्यासहरूको तुलनामा,नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइडछिटो प्रतिक्रिया र उच्च दक्षता को लाभ छ। विशेष गरी सिलिकन नाइट्राइड जस्ता सिलिकन युक्त सामग्रीको नक्काशीमा, यसको उच्च नक्काशी दर र चयनशीलता छ, नक्काशी गरिएको वस्तुको सतहमा कुनै अवशेष छोड्दैन। यो एक धेरै राम्रो सफाई एजेन्ट पनि हो र सतहमा कुनै प्रदूषण छैन, जसले प्रशोधन प्रक्रियाको आवश्यकताहरू पूरा गर्न सक्छ।