इलेक्ट्रोनिकविशेष ग्याँसहरूविशेष ग्याँसहरूको एक महत्त्वपूर्ण शाखा हो। तिनीहरू अर्धचालक उत्पादनको लगभग हरेक लिङ्कमा प्रवेश गर्छन् र अल्ट्रा-ठूलो-स्तरीय एकीकृत सर्किटहरू, फ्ल्याट प्यानल डिस्प्ले उपकरणहरू, र सौर्य कोषहरू जस्ता इलेक्ट्रोनिक उद्योगहरूको उत्पादनको लागि अपरिहार्य कच्चा पदार्थ हुन्।

अर्धचालक प्रविधिमा, फ्लोरिन युक्त ग्यासहरू व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ। हाल, विश्वव्यापी इलेक्ट्रोनिक ग्यास बजारमा, फ्लोरिन युक्त इलेक्ट्रोनिक ग्यासहरूले कुलको लगभग ३०% ओगटेका छन्। फ्लोरिन युक्त इलेक्ट्रोनिक ग्यासहरू इलेक्ट्रोनिक सूचना सामग्रीको क्षेत्रमा विशेष इलेक्ट्रोनिक ग्यासहरूको एक महत्त्वपूर्ण घटक हुन्। तिनीहरू मुख्यतया सफाई एजेन्ट र एचिंग एजेन्टको रूपमा प्रयोग गरिन्छ, र डोपेन्ट, फिल्म बनाउने सामग्री, आदिको रूपमा पनि प्रयोग गर्न सकिन्छ। यस लेखमा, लेखकले तपाईंलाई सामान्य फ्लोरिन युक्त ग्यासहरू बुझ्न लैजानेछन्।

फ्लोरिन युक्त ग्याँसहरू सामान्यतया प्रयोग गरिन्छन्

नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3): निक्षेपहरू सफा गर्न र हटाउन प्रयोग गरिने ग्यास, सामान्यतया प्रतिक्रिया कक्षहरू र उपकरण सतहहरू सफा गर्न प्रयोग गरिन्छ।

सल्फर हेक्साफ्लोराइड (SF6): अक्साइड निक्षेपण प्रक्रियाहरूमा र इन्सुलेट मिडिया भर्नको लागि इन्सुलेट ग्यासको रूपमा प्रयोग हुने फ्लोरिनेटिंग एजेन्ट।

हाइड्रोजन फ्लोराइड (HF): सिलिकन सतहबाट अक्साइडहरू हटाउन र सिलिकन र अन्य सामग्रीहरू नक्काशी गर्नको लागि नक्काशीको रूपमा प्रयोग गरिन्छ।

नाइट्रोजन फ्लोराइड (NF): सिलिकन नाइट्राइड (SiN) र आल्मुनियम नाइट्राइड (AlN) जस्ता सामग्रीहरू कुँद्न प्रयोग गरिन्छ।

ट्राइफ्लुरोमिथेन (CHF3) रटेट्राफ्लोरोमिथेन (CF4): सिलिकन फ्लोराइड र आल्मुनियम फ्लोराइड जस्ता फ्लोराइड सामग्रीहरू कुँद्न प्रयोग गरिन्छ।

यद्यपि, फ्लोरिन युक्त ग्याँसहरूमा विषाक्तता, संक्षारकता र ज्वलनशीलता सहित केही खतराहरू छन्।

विषाक्तता

केही फ्लोरिन युक्त ग्याँसहरू विषाक्त हुन्छन्, जस्तै हाइड्रोजन फ्लोराइड (HF), जसको वाष्पले छाला र श्वासप्रश्वास नलीलाई अत्यधिक जलन पुर्‍याउँछ र मानव स्वास्थ्यको लागि हानिकारक हुन्छ।

क्षरणशीलता

हाइड्रोजन फ्लोराइड र केही फ्लोराइडहरू अत्यधिक संक्षारक हुन्छन् र छाला, आँखा र श्वासप्रश्वास नलीमा गम्भीर क्षति पुर्‍याउन सक्छन्।

ज्वलनशीलता

केही फ्लोराइडहरू ज्वलनशील हुन्छन् र हावामा रहेको अक्सिजन वा पानीसँग प्रतिक्रिया गरेर तीव्र ताप र विषाक्त ग्याँसहरू छोड्छन्, जसले आगो वा विस्फोट निम्त्याउन सक्छ।

उच्च चापको जोखिम

केही फ्लोरिनेटेड ग्याँसहरू उच्च चापमा विस्फोटक हुन्छन् र प्रयोग र भण्डारण गर्दा विशेष हेरचाह आवश्यक पर्दछ।

वातावरणमा प्रभाव

फ्लोरिन युक्त ग्यासहरूको वायुमण्डलीय आयु र GWP मान उच्च हुन्छ, जसले वायुमण्डलीय ओजोन तहमा विनाशकारी प्रभाव पार्छ र विश्वव्यापी तापक्रम वृद्धि र वातावरणीय प्रदूषण निम्त्याउन सक्छ।

इलेक्ट्रोनिक्स जस्ता उदीयमान क्षेत्रहरूमा ग्यासहरूको प्रयोग बढ्दै गइरहेको छ, जसले गर्दा औद्योगिक ग्यासहरूको ठूलो मात्रामा नयाँ माग बढ्दै गएको छ। आगामी केही वर्षहरूमा मुख्य भूमि चीनमा अर्धचालक र डिस्प्ले प्यानल जस्ता प्रमुख इलेक्ट्रोनिक कम्पोनेन्टहरूको ठूलो मात्रामा नयाँ उत्पादन क्षमता, साथै इलेक्ट्रोनिक रासायनिक सामग्रीहरूको आयात प्रतिस्थापनको लागि बलियो मागको आधारमा, घरेलु इलेक्ट्रोनिक ग्यास उद्योगले उच्च वृद्धि दरको सुरुवात गर्नेछ।