इलेक्ट्रोनिकविशेष ग्याँसहरूविशेष ग्याँस को एक महत्वपूर्ण शाखा हो। तिनीहरू अर्धचालक उत्पादनको लगभग हरेक लिङ्क घुसाउँछन् र इलेक्ट्रोनिक उद्योगहरूको उत्पादनको लागि अपरिहार्य कच्चा माल हुन् जस्तै अल्ट्रा-लार्ज-स्केल इन्टिग्रेटेड सर्किटहरू, फ्ल्याट प्यानल डिस्प्ले उपकरणहरू, र सौर्य कक्षहरू।

अर्धचालक प्रविधिमा, फ्लोरिन युक्त ग्यासहरू व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ। हाल, विश्वव्यापी इलेक्ट्रोनिक ग्यास बजारमा, फ्लोरिन युक्त इलेक्ट्रोनिक ग्यासहरू कुलको लगभग 30% हो। फ्लोरिन युक्त इलेक्ट्रोनिक ग्यासहरू इलेक्ट्रोनिक सूचना सामग्रीको क्षेत्रमा विशेष इलेक्ट्रोनिक ग्यासहरूको महत्त्वपूर्ण घटक हुन्। तिनीहरू मुख्यतया सफाई एजेन्ट र नक्काशी एजेन्ट को रूप मा प्रयोग गरिन्छ, र पनि डोपेन्ट, फिल्म निर्माण सामग्री, आदि को रूप मा प्रयोग गर्न सकिन्छ। यस लेखमा, लेखकले तपाईंलाई सामान्य फ्लोरिन युक्त ग्यासहरू बुझ्न लैजानुहुनेछ।

निम्न सामान्यतया फ्लोरिन युक्त ग्यासहरू प्रयोग गरिन्छ

नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF3): निक्षेपहरू सफा गर्न र हटाउन प्रयोग गरिने ग्यास, सामान्यतया प्रतिक्रिया कक्षहरू र उपकरण सतहहरू सफा गर्न प्रयोग गरिन्छ।

सल्फर हेक्साफ्लोराइड (SF6): अक्साइड डिपोजिसन प्रक्रियाहरूमा र इन्सुलेट मिडिया भर्नको लागि इन्सुलेट ग्यासको रूपमा प्रयोग हुने फ्लोरिनिङ एजेन्ट।

हाइड्रोजन फ्लोराइड (HF): सिलिकन सतहबाट अक्साइडहरू हटाउन प्रयोग गरिन्छ र सिलिकन र अन्य सामग्रीहरू नक्काशीको लागि एचेन्टको रूपमा प्रयोग गरिन्छ।

नाइट्रोजन फ्लोराइड (NF): सिलिकन नाइट्राइड (SiN) र एल्युमिनियम नाइट्राइड (AlN) जस्ता सामग्रीहरू नक्काशी गर्न प्रयोग गरिन्छ।

Trifluoromethane (CHF3) रटेट्राफ्लोरोमेथेन (CF4): सिलिकन फ्लोराइड र एल्युमिनियम फ्लोराइड जस्ता फ्लोराइड सामग्रीहरू नक्काशी गर्न प्रयोग गरिन्छ।

यद्यपि, फ्लोरिन युक्त ग्यासहरूमा विषाक्तता, संक्षारकता र ज्वलनशीलता सहित केही खतराहरू छन्।

विषाक्तता

केही फ्लोरिन युक्त ग्यासहरू विषाक्त हुन्छन्, जस्तै हाइड्रोजन फ्लोराइड (HF), जसको वाष्पले छाला र श्वासप्रश्वासको मार्गमा अत्यधिक जलन र मानव स्वास्थ्यको लागि हानिकारक हुन्छ।

संक्षारकता

हाइड्रोजन फ्लोराइड र केही फ्लोराइडहरू अत्यधिक संक्षारक हुन्छन् र यसले छाला, आँखा र श्वासप्रश्वासमा गम्भीर क्षति पुर्‍याउन सक्छ।

ज्वलनशीलता

केही फ्लोराइडहरू ज्वलनशील हुन्छन् र तीव्र गर्मी र विषाक्त ग्याँसहरू छोड्न हावामा अक्सिजन वा पानीसँग प्रतिक्रिया गर्छन्, जसले आगो वा विस्फोट हुन सक्छ।

उच्च दबाव खतरा

केही फ्लोरिनेटेड ग्यासहरू उच्च दबावमा विस्फोटक हुन्छन् र प्रयोग र भण्डारण गर्दा विशेष हेरचाह चाहिन्छ।

वातावरण मा प्रभाव

फ्लोरिन युक्त ग्यासहरू उच्च वायुमण्डलीय जीवनकाल र GWP मानहरू छन्, जसले वायुमण्डलीय ओजोन तहमा विनाशकारी प्रभाव पार्छ र ग्लोबल वार्मिंग र वातावरणीय प्रदूषण हुन सक्छ।

इलेक्ट्रोनिक्स जस्ता उदीयमान क्षेत्रहरूमा ग्यासहरूको प्रयोग गहिरो हुँदै गइरहेको छ, जसले औद्योगिक ग्यासहरूको लागि ठूलो मात्रामा नयाँ माग ल्याउँदछ। आउँदो केही वर्षहरूमा मुख्य भूमि चीनमा सेमीकन्डक्टरहरू र डिस्प्ले प्यानलहरू जस्ता प्रमुख इलेक्ट्रोनिक कम्पोनेन्टहरूको नयाँ उत्पादन क्षमताको ठूलो मात्रामा, साथै इलेक्ट्रोनिक रासायनिक सामग्रीको आयात प्रतिस्थापनको कडा मागको आधारमा, घरेलु इलेक्ट्रोनिक ग्यास उद्योगले प्रवेश गर्नेछ। उच्च वृद्धि दर।