सुख्खा मसीमा प्राय: प्रयोग गरिएको ईची प्रयोग गर्ने ग्याँसहरू के हुन्?

सुख्खा ईछा प्रविधि एक महत्वपूर्ण प्रक्रिया हो। सुख्खा एन्टिंग ग्यास अर्धोक्टुईक्टिकर्सी निर्माणमा एक महत्वपूर्ण सामग्री हो र प्लाज्माले प्लाज्मा एन्चिंगको लागि महत्वपूर्ण ग्यास स्रोत हो। यसको प्रदर्शनले सीधा अन्तिम उत्पादनको गुणस्तर र प्रदर्शनलाई असर गर्दछ। यो लेखमा सजिलैसँग सुख्खा एन्टिंग प्रक्रियामा सामान्यतया प्रयोग गरिएको ईचि ing ग्याँसहरू के हुन् भनेर देखाउँदछ।

फ्लोरिन-आधारित ग्यासहरू: जस्तैकार्बन टेट्राफलिएट (CF4), हेक्सेफुरोरोटथन (C2F6), ट्रिफ्लग्रह्मथन (CHF3) र Postroropropuntant (C3F8)। यी ग्यासहरूले सिलिकन र सिलिकन कम्पाउन्डहरू जत्तिकै अस्थिर फ्लोराइट्रेडहरू उत्पन्न गर्न सक्दछन्, जसले गर्दा भनी हटाउने काम प्राप्त गर्दै।

क्लोरीन-आधारित ग्यासहरू: जस्तै क्लोरीन (Al22),बोर्सन ट्राइक्लोरेड (बीएलसीए)र सिलिकन टेट्राचिरो (SICL4)। क्लोरीन-आधारित ग्यासहरूले ECTING प्रक्रियाको समयमा क्लोराइड प्रक्रियाहरू प्रदान गर्न सक्दछ, जसले एक्सलाई दर र छनौटमा सुधार गर्न मद्दत गर्दछ।

Bromine-आधारित ग्यासहरू: जस्तै Bromine (br2) जस्तै ब्रामिन iodide (ibr)। ब्रोमाइन-आधारित ग्यासहरूले केहि ईचिंग प्रक्रियाहरूमा राम्रो ईचिंग प्रदर्शन प्रदान गर्न सक्दछन्, विशेष गरी जब सिलिकन कार्बाइड जस्ता कडा सामग्रीहरू प्रस्तुत गर्दछ।

नाइट्रोजन-आधारित र अक्सिजन-आधारित ग्यासहरू: जस्तै नाइट्रोजन ट्रिफेस्टेड (NF3) र अक्सिजन (O2)। यी ग्याँसहरू सामान्यतया एन्टिंग प्रक्रियामा ECCHING प्रक्रियामा प्रतिक्रिया सर्तहरू समायोजित गर्न प्रयोग गरिन्छ।

यी ग्यासहरूले प्लाज्मा एक्काको बखत शारीरिक spuutting र रासायनिक प्रतिक्रियाहरूको संयोजनको सटीक ecccing प्राप्त गर्दछ। Ecching ग्यास को छनौट सामग्री को एक प्रकार को प्रकार मा निर्भर गर्दछ, eccing, र इच्छित Ecching दर को छनौट को आवश्यकता मा निर्भर गर्दछ।