अल्ट्रा-उच्च शुद्धता (UHP) ग्याँसहरू अर्धविडेटर उद्योगको लाइफबलोड हुन्। अल्ट्रा-उच्च दबाव ग्यासको मूल्यलाई व्याप्त महाप्रभाविक आपूर्तिको सा changans ्कटहरूको रूपमा रोकावटको मूल्यमा प्रदूषण नियन्त्रणको स्तर आवश्यक छ। अर्धन्डुनिकल निर्माणकर्ताहरूका लागि यूओपी ग्यासको शुद्धता पहिले भन्दा बढी महत्त्वपूर्ण छ।

अल्ट्रा उच्च शुद्धता (UHP) ग्याँस आधुनिक अर्ध मंडेशनका गठन मा बिल्कुल आलोचनात्मक छ

यूपीएपी ग्यासको एक मुख्य आवेदन असमानकरण हो: यूओपी ग्यासले अर्धविका कम्पोनेन्टहरूको सुरक्षात्मक वातावरणको लागि प्रयोग गरीन्छ, यसैले वातावरणमा अन्य दूषित पदार्थहरू। यद्यपि, असंख्यिकरण अर्धडी उद्योगमा प्रदर्शन ग्यासहरू मध्ये धेरै बिभिन्न कार्यहरू मध्ये एक मात्र हो। प्राथमिक प्लाज्मा एन्चिंग र अविनाश, अल्ट्रा-उच्च दबाव ग्याँसहरू धेरै फरक उद्देश्यका लागि प्रयोग गरिन्छ र अर्धवान्डुनिक आपूर्ति श्रृंखलामा आवश्यक छन्।

सेमीन्डुन्डोर उद्योगमा "कोर" ग्यासहरू समावेश छन्नियोजित(सामान्य सफाई र असंतुन ग्यास को रूप मा प्रयोग,अर्को(ecching र जम्मा प्रतिक्रियाहरूमा प्राथमिक प्लाज्मा ग्यासको रूपमा प्रयोग गरियो),हेलीयम(विशेष गर्मी-स्थानान्तरण गुणहरूको साथ एक असंख्य ग्यासको रूपमा प्रयोग गरियो)हाइड्रोजन(अभियुक्त, जम्मा, उपस्थिति, ऑपिटक्स र प्लाज्मा सफा) मा बहु भूमिका खेल्छ)।

अर्धविडटाक्टर प्रविधिको रूपमा विकसित र परिवर्तन भएको छ, त्यसैले निर्माण प्रक्रियामा प्रयोग गरिएको ग्याँसहरू छन्। आज, सेमीन्डुन्डरकनले निर्माण बोटबिरुवाहरू ग्यासहरूको एक विस्तृत श्रृंखला प्रयोग गर्दछ, महान ग्याँसहरूबाटKryptonरनिनोनप्रतिक्रियाशील प्रजातिहरू जस्तै नाइट्रोजन ट्रिफेरोइड (एनएफ)) र tungsten हेक्स्ट्टलयड (wf 6)।

शुद्धताको लागि बढ्दो माग

पहिलो वाणिज्यिक माइक्रोचिपको आविष्कारदेखि विश्वले अर्धवांडरकय उपकरणहरूको प्रदर्शनमा नजिकैको खुला प्रदर्शन वृद्धि बृद्धि भएको देखेको छ। विगत years बर्षमा, यस प्रकारको प्रदर्शन सुधारको एक निश्चित तरीकाहरू "आकार स्केलिंग" को माध्यमबाट प्राप्त गरिएको छ: अधिक ठाउँहरूमा थप ट्रान्ससेजरहरू निचोरेर आयमित चिप चिकित्सकहरूको कुञ्जी आयामहरू कम गर्दैछ। यसका अतिरिक्त नयाँ चिप आर्किटेक्चरहरूको विकास र कटरिंगका लागि प्रयोगको प्रयोगले उपकरण प्रदर्शनमा उफ्रिने छ।

आज, काट्ने-आराधना अर्धवित्तवाजको आलोचनात्मक आयामहरू अब यति सानो छन् कि उपकरणको प्रदर्शन सुधार गर्न आकारको आकारको तरीका अब उपयुक्त तरीका हो। यसको सट्टामा, सेमीन्डरकक्टर अनुसन्धानकर्ताहरू उपन्यास सामग्री र थ्रीडी चिप आर्किटेक्टरको रूपमा समाधान खोज्दैछन्।

दशक पुन: डिजाइनको अर्थ आजको सेमीकन्डुनिक उपकरणहरू पुरानो माइक्रोसिप्स भन्दा धेरै शक्तिशाली छन् - तर तिनीहरू पनि अधिक नाजुक हुन्छन्। 300 मिमी सेफ वेफर बनावट प्रविधिको एडडनले अर्धकोन्डक्टूक्टर निर्माणको लागि आवश्यक अपवित्र नियन्त्रणको स्तर बढाएको छ। उत्पादन प्रक्रियामा पनि हल्का प्रदूषण पनि (विशेष गरी दुर्लभ वा असंख्य वा असंख्य ग्याँस) ले विनाशकारी उपकरण असफलता निम्त्याउन सक्छ - त्यसैले ग्यास शुद्धता अब पहिले भन्दा बढी महत्त्वपूर्ण छ।

एक विशिष्ट अर्धोन्डन्डरकवर्ती बनावटको लागि, पराग्रा-उच्च-शुद्धता ग्यास सिलीइकोन पछि सबैभन्दा ठूलो भौतिक खर्च हो। यी लागतहरू केवल सेमित्सकहरूले नयाँ उचाइमा कानको मागको रूपमा मात्र बढ्ने आशा गरिन्छ। युरोपमा भएका घटनाहरूले तनावको अल्ट्रा-उच्च दबाव प्राकृतिक ग्यास बजारमा थप अवरोध खडा गरेको छ। युक्रेन एक विश्वको सबैभन्दा ठूलो निर्यातकर्ताहरू मध्ये एक होनिनोनसंकेत; रसियाको आक्रमणको मतलब दुर्लभ ग्यासको आपूर्ति विवेकपूर्ण भइरहेको छ। यो बदलेमा अन्य महान ग्याँसहरूको संख्यामा परिवर्तन र उच्च मूल्यहरूKryptonरमेशना.