अल्ट्रा-उच्च शुद्धता (UHP) ग्यासहरू अर्धचालक उद्योगको जीवन रगत हुन्।अभूतपूर्व माग र विश्वव्यापी आपूर्ति शृङ्खलाहरूमा अवरोधहरूले अल्ट्रा-उच्च चाप ग्यासको मूल्यलाई धकेल्दा, नयाँ सेमीकन्डक्टर डिजाइन र निर्माण अभ्यासहरूले आवश्यक प्रदूषण नियन्त्रणको स्तर बढाउँदैछ।अर्धचालक निर्माताहरूका लागि, UHP ग्यासको शुद्धता सुनिश्चित गर्न सक्षम हुनु पहिले भन्दा बढी महत्त्वपूर्ण छ।

अल्ट्रा उच्च शुद्धता (UHP) ग्यासहरू आधुनिक सेमीकन्डक्टर निर्माणमा बिल्कुलै महत्वपूर्ण छन्

UHP ग्यासको मुख्य अनुप्रयोगहरू मध्ये एक inertization हो: UHP ग्यास अर्धचालक कम्पोनेन्टहरू वरिपरि सुरक्षात्मक वातावरण प्रदान गर्न प्रयोग गरिन्छ, जसले गर्दा उनीहरूलाई वायुमण्डलमा नमी, अक्सिजन र अन्य प्रदूषकहरूको हानिकारक प्रभावहरूबाट जोगाउँछ।यद्यपि, जडत्व भनेको सेमीकन्डक्टर उद्योगमा ग्यासहरूले गर्ने धेरै फरक कार्यहरू मध्ये एक मात्र हो।प्राथमिक प्लाज्मा ग्यासहरूदेखि लिएर नक्काशी र एनिलिङमा प्रयोग हुने प्रतिक्रियाशील ग्यासहरूसम्म, अल्ट्रा-उच्च दाब ग्यासहरू धेरै फरक उद्देश्यका लागि प्रयोग गरिन्छ र अर्धचालक आपूर्ति श्रृंखलामा आवश्यक हुन्छ।

अर्धचालक उद्योगमा केही "कोर" ग्यासहरू समावेश छन्नाइट्रोजन(सामान्य सफाई र निष्क्रिय ग्यासको रूपमा प्रयोग गरिन्छ),argon(एचिङ र डिपोजिसन प्रतिक्रियाहरूमा प्राथमिक प्लाज्मा ग्यासको रूपमा प्रयोग गरिन्छ),हेलियम(विशेष ताप-स्थानान्तरण गुणहरूको साथ एक निष्क्रिय ग्यासको रूपमा प्रयोग गरिन्छ) रहाइड्रोजन(एनिलिङ, डिपोजिसन, एपिटेक्सी र प्लाज्मा क्लिनिङमा धेरै भूमिका खेल्छ)।

सेमीकन्डक्टर टेक्नोलोजी विकसित र परिवर्तन भएको छ, त्यसैगरी निर्माण प्रक्रियामा प्रयोग हुने ग्यासहरू छन्।आज, अर्धचालक उत्पादन प्लान्टहरूले ग्याँसहरूको विस्तृत श्रृंखला प्रयोग गर्दछ, जस्तै महान ग्याँसहरूबाटक्रिप्टनरनीयनप्रतिक्रियाशील प्रजातिहरू जस्तै नाइट्रोजन ट्राइफ्लोराइड (NF 3) र टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड (WF 6)।

शुद्धताको बढ्दो माग

पहिलो व्यावसायिक माइक्रोचिपको आविष्कार भएदेखि, विश्वले अर्धचालक उपकरणहरूको कार्यसम्पादनमा अचम्मको नजिक-घातात्मक वृद्धि देखेको छ।विगत पाँच वर्षमा, यस प्रकारको कार्यसम्पादन सुधार हासिल गर्ने एउटा निश्चित तरिका "साइज स्केलिङ" मार्फत भएको छ: दिइएको ठाउँमा थप ट्रान्जिस्टरहरू निचोड गर्न अवस्थित चिप आर्किटेक्चरहरूको मुख्य आयामहरू घटाउने।यसका अतिरिक्त, नयाँ चिप आर्किटेक्चरको विकास र अत्याधुनिक सामग्रीको प्रयोगले उपकरणको प्रदर्शनमा फड्को मारेको छ।

आज, अत्याधुनिक अर्धचालकहरूको महत्वपूर्ण आयामहरू अब यति सानो छन् कि आकार मापन अब उपकरण प्रदर्शन सुधार गर्न एक व्यवहार्य तरिका छैन।यसको सट्टा, अर्धचालक अनुसन्धानकर्ताहरूले उपन्यास सामग्री र थ्रीडी चिप आर्किटेक्चरको रूपमा समाधान खोजिरहेका छन्।

दशकौंको अथक पुन: डिजाइनको मतलब आजका सेमिकन्डक्टर उपकरणहरू पुरानो माइक्रोचिपहरू भन्दा धेरै शक्तिशाली छन् - तर तिनीहरू अझ कमजोर छन्।300mm वेफर फेब्रिकेसन टेक्नोलोजीको आगमनले सेमीकन्डक्टर उत्पादनको लागि आवश्यक अशुद्धता नियन्त्रणको स्तर बढाएको छ।उत्पादन प्रक्रिया (विशेष गरी दुर्लभ वा अक्रिय ग्याँसहरू) मा अलिकति प्रदूषणले पनि विनाशकारी उपकरण विफलता निम्त्याउन सक्छ - त्यसैले ग्यास शुद्धता अब पहिले भन्दा बढी महत्त्वपूर्ण छ।

एक सामान्य अर्धचालक निर्माण प्लान्टको लागि, अल्ट्रा-उच्च-शुद्धता ग्यास पहिले नै सिलिकन पछि सबैभन्दा ठूलो सामग्री खर्च हो।यी लागतहरू मात्र बढ्ने आशा गरिन्छ किनभने अर्धचालकहरूको माग नयाँ उचाइहरूमा बढ्छ।युरोपमा भएका घटनाहरूले तनावपूर्ण अल्ट्रा-उच्च चाप प्राकृतिक ग्यास बजारमा थप अवरोध उत्पन्न गरेको छ।युक्रेन उच्च शुद्धताको विश्वको सबैभन्दा ठूलो निर्यातकर्ता होनीयनसंकेत;रुसको आक्रमणको अर्थ दुर्लभ ग्यासको आपूर्तिमा अवरोध भइरहेको छ।यसले बारीमा अन्य नोबल ग्याँसहरू जस्तै अभाव र उच्च मूल्यहरूको नेतृत्व गर्योक्रिप्टनरxenon.