सिलिकन नाइट्राइड नक्काशीमा सल्फर हेक्साफ्लोराइडको भूमिका

सल्फर हेक्साफ्लोराइड उत्कृष्ट इन्सुलेट गुणहरू भएको ग्यास हो र प्रायः उच्च-भोल्टेज चाप निभाउने र ट्रान्सफर्मरहरू, उच्च-भोल्टेज प्रसारण लाइनहरू, ट्रान्सफर्मरहरू, इत्यादिमा प्रयोग गरिन्छ। यद्यपि, यी कार्यहरूका अतिरिक्त, सल्फर हेक्साफ्लोराइडलाई इलेक्ट्रोनिक एचेन्टको रूपमा पनि प्रयोग गर्न सकिन्छ। ।इलेक्ट्रोनिक ग्रेड उच्च शुद्धता सल्फर हेक्साफ्लोराइड एक आदर्श इलेक्ट्रोनिक एचेन्ट हो, जुन माइक्रोइलेक्ट्रोनिक्स प्रविधिको क्षेत्रमा व्यापक रूपमा प्रयोग गरिन्छ।आज, Niu Ruide विशेष ग्यास सम्पादक Yueyue सिलिकन नाइट्राइड नक्काशी मा सल्फर hexafluoride को आवेदन र विभिन्न प्यारामिटर को प्रभाव परिचय हुनेछ।

हामी SF6 प्लाज्मा एचिंग SiNx प्रक्रियाको बारेमा छलफल गर्छौं, जसमा प्लाज्मा पावर परिवर्तन, SF6/He को ग्यास अनुपात र cationic ग्यास O2 थप्ने, TFT को SiNx तत्व सुरक्षा तहको नक्काशी दरमा यसको प्रभावको बारेमा छलफल गर्दै, र प्लाज्मा विकिरण प्रयोग गर्ने। स्पेक्ट्रोमिटरले SF6/He, SF6/He/O2 प्लाज्मा र SF6 पृथक्करण दरमा प्रत्येक प्रजातिको एकाग्रता परिवर्तनको विश्लेषण गर्दछ, र SiNx नक्काशी दर र प्लाज्मा प्रजाति एकाग्रताको परिवर्तन बीचको सम्बन्धको अन्वेषण गर्दछ।

अध्ययनहरूले पत्ता लगाएको छ कि जब प्लाज्मा शक्ति बढ्छ, नक्काशी दर बढ्छ;यदि प्लाज्मामा SF6 को प्रवाह दर बढाइयो भने, F परमाणु एकाग्रता बढ्छ र सकारात्मक रूपमा नक्काशी दरसँग सम्बन्धित हुन्छ।थप रूपमा, निश्चित कुल प्रवाह दर अन्तर्गत cationic ग्यास O2 थपेपछि, यसले नक्काशी दर बढाउने प्रभाव पार्नेछ, तर विभिन्न O2/SF6 प्रवाह अनुपात अन्तर्गत, त्यहाँ विभिन्न प्रतिक्रिया संयन्त्रहरू हुनेछन्, जसलाई तीन भागमा विभाजन गर्न सकिन्छ। : (1) O2/SF6 प्रवाह अनुपात धेरै सानो छ, O2 ले SF6 को विच्छेदन गर्न मद्दत गर्न सक्छ, र यस समयमा नक्काशी दर O2 थपिएको भन्दा ठूलो छ।(2) जब O2/SF6 प्रवाह अनुपात 0.2 भन्दा बढी अन्तराल 1 मा पुग्छ, यस समयमा, F परमाणुहरू बनाउनको लागि SF6 को पृथकीकरणको ठूलो मात्राको कारणले, नक्काशी दर उच्चतम हुन्छ;तर एकै समयमा, प्लाज्मामा O परमाणुहरू पनि बढ्दै गएका छन् र SiNx फिल्म सतहसँग SiOx वा SiNxO(yx) बनाउन सजिलो छ, र O परमाणुहरू जति बढ्दै जान्छ, F परमाणुहरू उति गाह्रो हुनेछ। नक्काशी प्रतिक्रिया।तसर्थ, O2/SF6 अनुपात 1 को नजिक हुँदा एचिंग दर सुस्त हुन थाल्छ। (3) O2/SF6 अनुपात 1 भन्दा ठूलो हुँदा, नक्काशी दर घट्छ।O2 मा ठूलो वृद्धिको कारण, पृथक F परमाणुहरू O2 र फारम OF सँग टकराउँछन्, जसले F परमाणुहरूको एकाग्रतालाई कम गर्छ, परिणामस्वरूप नक्काशी दरमा कमी आउँछ।यसबाट यो देख्न सकिन्छ कि जब O2 थपिन्छ, O2/SF6 को प्रवाह अनुपात ०.२ र ०.८ को बीचमा हुन्छ, र उत्कृष्ट नक्काशी दर प्राप्त गर्न सकिन्छ।