टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड (WF6) CVD प्रक्रिया मार्फत वेफरको सतहमा जम्मा गरिन्छ, धातुको अन्तरसम्बन्ध खाडलहरू भरिन्छ, र तहहरू बीच धातुको अन्तरसम्बन्ध बनाउँछ।
पहिले प्लाज्माको बारेमा कुरा गरौं। प्लाज्मा पदार्थको एक रूप हो जुन मुख्यतया मुक्त इलेक्ट्रोन र चार्ज गरिएका आयनहरू मिलेर बनेको हुन्छ। यो ब्रह्माण्डमा व्यापक रूपमा अवस्थित छ र प्रायः पदार्थको चौथो अवस्था मानिन्छ। यसलाई प्लाज्मा अवस्था भनिन्छ, जसलाई "प्लाज्मा" पनि भनिन्छ। प्लाज्मामा उच्च विद्युत चालकता हुन्छ र यसको विद्युत चुम्बकीय क्षेत्रसँग बलियो युग्मन प्रभाव हुन्छ। यो आंशिक रूपमा आयनीकृत ग्यास हो, जुन इलेक्ट्रोन, आयन, मुक्त रेडिकल, तटस्थ कण र फोटोनहरू मिलेर बनेको हुन्छ। प्लाज्मा आफैंमा भौतिक र रासायनिक रूपमा सक्रिय कणहरू भएको विद्युतीय रूपमा तटस्थ मिश्रण हो।
यसको स्पष्ट व्याख्या यो हो कि उच्च ऊर्जाको कार्य अन्तर्गत, अणुले भ्यान डेर वाल्स बल, रासायनिक बन्धन बल र कुलम्ब बललाई पार गर्नेछ र समग्रमा तटस्थ बिजुलीको रूप प्रस्तुत गर्नेछ। साथै, बाहिरबाट प्रदान गरिएको उच्च ऊर्जाले माथिका तीन बलहरूलाई पार गर्दछ। प्रकार्य, इलेक्ट्रोन र आयनहरूले एक मुक्त अवस्था प्रस्तुत गर्दछ, जुन अर्धचालक एचिंग प्रक्रिया, CVD प्रक्रिया, PVD र IMP प्रक्रिया जस्ता चुम्बकीय क्षेत्रको मोड्युलेसन अन्तर्गत कृत्रिम रूपमा प्रयोग गर्न सकिन्छ।
उच्च ऊर्जा भनेको के हो? सिद्धान्तमा, उच्च तापक्रम र उच्च आवृत्ति RF दुवै प्रयोग गर्न सकिन्छ। सामान्यतया, उच्च तापक्रम प्राप्त गर्न लगभग असम्भव छ। यो तापक्रम आवश्यकता धेरै उच्च छ र सूर्यको तापक्रमको नजिक हुन सक्छ। यो प्रक्रियामा प्राप्त गर्न मूल रूपमा असम्भव छ। त्यसैले, उद्योगले सामान्यतया यसलाई प्राप्त गर्न उच्च-आवृत्ति RF प्रयोग गर्दछ। प्लाज्मा RF १३MHz+ सम्म पुग्न सक्छ।
टंगस्टन हेक्साफ्लोराइडलाई विद्युतीय क्षेत्रको कार्य अन्तर्गत प्लाज्माइज गरिन्छ, र त्यसपछि चुम्बकीय क्षेत्रद्वारा वाष्प-निक्षेपित गरिन्छ। W परमाणुहरू जाडो हंसको प्वाँख जस्तै हुन्छन् र गुरुत्वाकर्षणको कार्य अन्तर्गत जमिनमा खस्छन्। बिस्तारै, W परमाणुहरू थ्रु प्वालहरूमा जम्मा हुन्छन्, र अन्तमा धातुको अन्तरसम्बन्ध बनाउन पूर्ण रूपमा प्वालहरू भरिन्छन्। थ्रु प्वालहरूमा W परमाणुहरू जम्मा गर्नुको अतिरिक्त, के तिनीहरू वेफरको सतहमा पनि जम्मा हुनेछन्? हो, निश्चित रूपमा। सामान्यतया, तपाईं W-CMP प्रक्रिया प्रयोग गर्न सक्नुहुन्छ, जुन हामी हटाउनको लागि मेकानिकल ग्राइन्डिङ प्रक्रिया भन्छौं। यो भारी हिउँ पछि भुइँ सफा गर्न झाडू प्रयोग गर्नु जस्तै हो। जमिनमा रहेको हिउँ बगाइन्छ, तर जमिनमा रहेको प्वालमा रहेको हिउँ रहनेछ। तल, लगभग उस्तै।
पोस्ट समय: डिसेम्बर-२४-२०२१
