टंगस्टन हेक्साफ्लोराइड (WF6) एक CVD प्रक्रिया मार्फत वेफरको सतहमा जम्मा गरिन्छ, धातुको अन्तरसम्बन्ध खाइहरू भरेर, र तहहरू बीचको धातुको अन्तरसम्बन्ध बनाउँछ।
पहिले प्लाज्माको कुरा गरौं।प्लाज्मा मुख्यतया मुक्त इलेक्ट्रोन र चार्ज आयनहरू मिलेर बनेको पदार्थको एक रूप हो।यो ब्रह्माण्डमा व्यापक रूपमा अवस्थित छ र प्रायः पदार्थको चौथो अवस्थाको रूपमा मानिन्छ।यसलाई प्लाज्मा अवस्था भनिन्छ, जसलाई "प्लाज्मा" पनि भनिन्छ।प्लाज्मा उच्च विद्युत चालकता छ र एक विद्युत चुम्बकीय क्षेत्र संग बलियो युग्मन प्रभाव छ।यो आंशिक रूपमा आयनीकृत ग्यास हो, इलेक्ट्रोनहरू, आयनहरू, मुक्त कणहरू, तटस्थ कणहरू र फोटोनहरू मिलेर बनेको हुन्छ।प्लाज्मा आफैंमा एक विद्युतीय तटस्थ मिश्रण हो जसमा भौतिक र रासायनिक रूपमा सक्रिय कणहरू छन्।
सीधा स्पष्टीकरण यो हो कि उच्च ऊर्जाको कार्य अन्तर्गत, अणुले भ्यान डेर वाल्स बल, रासायनिक बन्धन बल र कूलम्ब बललाई जित्नेछ, र समग्र रूपमा तटस्थ विद्युतको रूप प्रस्तुत गर्नेछ।एकै समयमा, बाहिरबाट प्रदान गरिएको उच्च ऊर्जाले माथिका तीन शक्तिहरूलाई जित्छ।प्रकार्य, इलेक्ट्रोन र आयनहरूले एक मुक्त अवस्था प्रस्तुत गर्दछ, जुन कृत्रिम रूपमा चुम्बकीय क्षेत्रको मोड्युलेसन अन्तर्गत प्रयोग गर्न सकिन्छ, जस्तै अर्धचालक नक्काशी प्रक्रिया, CVD प्रक्रिया, PVD र IMP प्रक्रिया।
उच्च ऊर्जा के हो?सिद्धान्तमा, दुबै उच्च तापमान र उच्च आवृत्ति आरएफ प्रयोग गर्न सकिन्छ।सामान्यतया, उच्च तापमान हासिल गर्न लगभग असम्भव छ।यो तापमान आवश्यकता धेरै उच्च छ र सूर्यको तापक्रम नजिक हुन सक्छ।यो प्रक्रियामा हासिल गर्न मूलतः असम्भव छ।त्यसकारण, उद्योगले यसलाई प्राप्त गर्न सामान्यतया उच्च-फ्रिक्वेन्सी आरएफ प्रयोग गर्दछ।प्लाज्मा RF 13MHz+ सम्म पुग्न सक्छ।
टंगस्टन हेक्साफ्लोराइडलाई विद्युतीय क्षेत्रको कार्य अन्तर्गत प्लाज्मााइज गरिएको छ, र त्यसपछि चुम्बकीय क्षेत्रद्वारा वाष्प-जमा गरिन्छ।W परमाणुहरू जाडो हंस प्वाँखहरू जस्तै छन् र गुरुत्वाकर्षणको कार्य अन्तर्गत जमीनमा खस्छन्।बिस्तारै, W परमाणुहरू प्वालहरू मार्फत जम्मा हुन्छन्, र अन्तमा धातुको अन्तरसम्बन्धहरू बनाउन प्वालहरूबाट पूर्ण भरिन्छ।प्वालहरूमा W परमाणुहरू जम्मा गर्नुको अतिरिक्त, के तिनीहरू वेफरको सतहमा पनि जम्मा हुनेछन्?हो, पक्कै पनि।सामान्यतया, तपाईले W-CMP प्रक्रिया प्रयोग गर्न सक्नुहुन्छ, जसलाई हामी हटाउनको लागि मेकानिकल ग्राइंडिंग प्रक्रिया भन्छौं।भारी हिउँ परेपछि भुइँ झार्दै झाडू प्रयोग गर्नु जस्तै हो।जमिनमा रहेको हिउँ बगेको छ, तर जमिनको प्वालमा रहेको हिउँ रहिरहनेछ।तल, लगभग उस्तै।
पोस्ट समय: डिसेम्बर-24-2021
